1000T/Y ազոտի տրիֆլորիդ նախագիծ (հատուկ գազի մաքրություն 99,996%)

年产1000吨三氟化氮项⽬(特⽓⾏业纯度99,996%)

 

三氟化氮(Ազոտ Տրիֆլուրիդ, NF3, եռաֆլորիդ,剂。作为⼀种重要的⼯业特种⽓体,具有⼴泛的应⽤领域。
在微电⼦⼯业中,三氟化氮是⼀种优良的等离⼦蚀刻⽓体,在半导体芯幽显⽰器、光纤、光伏电池等制造领域,三氟化氮主要⽤作等离⼦蚀刻茺当体清洗剂。它还可以⽤于⾼能化学激光器,通过与氢反应在瞬间放出在瞬间放出弤饇应⽤。三氟化氮还可⽤作⾼能燃料,并且在⽕箭发射中作为氧化剂和为氧化剂和椨迨

1733284858610

Ազոտի տրիֆտորիդը՝ NF3 քիմիական բանաձևը, ուժեղ օքսիդացնող նյութ է: Որպես կարևոր արդյունաբերական հատուկ գազ, այն ունի կիրառման լայն շրջանակ:
Միկրոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ ազոտի տրիֆտորիդը հիանալի պլազմային փորագրող գազ է. Կիսահաղորդչային չիպում, հարթ վահանակի էկրանում, օպտիկական մանրաթելում, ֆոտոգալվանային բջիջներում և արտադրական այլ ոլորտներում ազոտի տրիֆտորիդը հիմնականում օգտագործվում է որպես պլազմային փորագրող գազ և ռեակցիոն խոռոչի մաքրող միջոց:
Այն կարող է օգտագործվել նաև բարձր էներգիայի քիմիական լազերներում՝ իր կիրառմանը հասնելու համար՝ արձագանքելով ջրածնի հետ՝ մի ակնթարթում մեծ քանակությամբ ջերմություն արտանետելու համար: Ազոտի եռաֆտորիդը նաև օգտագործվում է որպես բարձր էներգիայի վառելիք և որպես օքսիդիչ և շարժիչ հրթիռ հրթիռների արձակման ժամանակ:


Հրապարակման ժամանակը՝ Dec-04-2024